2024年4月1日发(作者：电脑处理器i3和i5和i7区别)

材料电阻率的测量（四探针法）

一：实验目的

1：熟悉四探针法测量电阻率和薄层电阻的原理及测量方法。

2：了解影响电阻率测量的各种因素及改进措施。

二：实验仪器

1:实验仪器：

RTS-5 型双电测四探针测试仪

RTS-5 型双电测四探针测试仪测量原理通过采用四探针双位组合

测量技术，将范德堡测量方法推广应用到直线四探针上。利用电流探

针和电压探针的组合变换，进行两次电测量，其最后计算结果能自动

消除由样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素所

引起的，对测量结果的不利影响。因而在测试过程中，在满足基本条

件下可以不考虑探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置等因

素。这种动态地对以上不利因素的自动修正，显著降低了其对测试结

果的影响，从而提高了测量结果的准确度。其优点是目前广泛使用的

常规四探针测量方法根本办不到的。

2:

技 术 指 标

A:测量范围

电阻率：0.001～200Ω.cm(可扩展)；

方块电阻：0.01～2000/□(可扩展)；

电导率：0.005～1000s/cm；

适合样品厚度：≤3.00mm；

可测晶片直径：140mmX150mm (配 S-2A 型测试台)；

200mmX200mm (配 S-2B 型测试台)；

400mmX500mm (配 S-2C 型测试台)；

B:恒流源

电流量程分为 0.1mA、1mA、10mA、100mA 四档，各档电流连续可调；

C:数字电压表

量程及表示形式：000.00～199.99mV；

分辨力：10μV；

输入阻抗：＞1000MΩ；

精度：±0.1%；