2024年3月14日发(作者：)

专业术语

1. acceptance testing (WAT: wafer acceptance testing)

2. acceptor: 受主，如B，掺入Si中需要接受电子

3. ACCESS：一个EDA（Engineering Data Analysis）系统

4. Acid：酸

5. Active device：有源器件，如MOS FET（非线性，可以对信号放大）

6. Align mark(key)：对位标记

7. Alloy：合金

8. Aluminum：铝

9. Ammonia：氨水

10. Ammonium fluoride：NH4F

11. Ammonium hydroxide：NH4OH

12. Amorphous silicon：α-Si，非晶硅（不是多晶硅）

13. Analog：模拟的

14. Angstrom：A（1E-10m）埃

15. Anisotropic：各向异性（如POLY ETCH）

16. AQL(Acceptance Quality Level)：接受质量标准，在一定采样下，可以95%置信度

通过质量标准（不同于可靠性，可靠性要求一定时间后的失效率）

17. ARC(Antireflective coating)：抗反射层（用于METAL等层的光刻）

18. Antimony(Sb)锑

19. Argon(Ar)氩

20. Arsenic(As)砷

21. Arsenic trioxide(As2O3)三氧化二砷

22. Arsine(AsH3)

23. Asher：去胶机

24. Aspect ration：形貌比（ETCH中的深度、宽度比）

25. Autodoping：自搀杂（外延时SUB的浓度高，导致有杂质蒸发到环境中后，又回掺