2024年5月11日发(作者：苹果4月份发布会)
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(21)申请号 CN2.0
(22)申请日 2021.12.09
(71)申请人 华虹半导体(无锡)有限公司
地址 214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号
(72)发明人 李佳龙 范晓
(74)专利代理机构 31211 上海浦一知识产权代理有限公司
代理人 刘昌荣
(51)
H01L27/146(20060101)
权利要求说明书 说明书 幅图
(10)申请公布号 CN 114267690 A
(43)申请公布日 2022.04.01
(54)发明名称
小尺寸Pixel隔离结构的生产工艺
及隔离结构
(57)摘要
本发明涉及一种小尺寸Pixel隔离
结构的生产工艺及隔离结构，其中小尺寸
Pixel隔离结构的生产工艺包括：在P型硅
衬底上进行N型外延层生长；在N型外延
层上沉积硬掩膜层；在硬掩膜层上进行光
刻工艺；进行硬掩膜层和N型外延层的刻
蚀，形成深沟槽结构；在深沟槽中进行第
一次P型外延层生长；在深沟槽侧壁热氧
化生长一层薄热氧化层；在深沟槽中填充
材料，对填充材料进行直接刻蚀，并在刻
蚀后去除深沟槽中剩余的填充材料；进行
第二次P型外延层生长，在深沟槽上部封
口；拔除硬掩膜层，进行研磨使第二次P
型外延层平坦化；在N型外延层及第二次
P型外延层上进行第三次P型外延层生
长，实现了小尺寸Pixel隔离结构的生产，
提升小尺寸像素的感光度，提高像素水
平。
法律状态
法律状态公告日
法律状态信息
2022-04-01
公开
实质审查的生效IPC(主分
2022-04-19
类):H01L27/146专利申请
号:2申请
日:20211209
法律状态
发明专利申请公布
实质审查的生效
权 利 要 求 说 明 书
【小尺寸Pixel隔离结构的生产工艺及隔离结构】的权利说明书内容是......请下载
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说 明 书
【小尺寸Pixel隔离结构的生产工艺及隔离结构】的说明书内容是......请下载后查
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