2024年3月12日发(作者：gtx950显卡能玩吃鸡吗)
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表面颗粒检测仪作业指导书
一、开机
按下图中所示绿色“POWER ON”键，机台通电源后，进入界面1
二、检测前准备
1. 进入测试界面
界面1
界面2
1.1 在界面1中Please Enter Access Code中输入1，按下ENTER键，屏幕进入界面2。
1.2 在System Menu界面中，点击左上角Scan图标，屏幕进入界面3（测试界面）。
界面3
2 选择测试程序
2.1 在界面3中把光标移到Recipe处，在下拉菜单中选择load，屏幕上出现如下对话框Load
Recipe。
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2.2 把光标移动到所要测试的程序上，按下OK键。
目前使用的程序为 4英寸为：4IN-GENERAL
6英寸为：6IN-GENERAL
3 花篮放置
界面4
3.1 测试前，需要把花篮放置在界面4中鼠标前的升降台（右边）上。
3.2 4寸花篮与6寸花篮的放置位置如下。
4寸花篮 6寸花篮
三．运行
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界面5
1. 单片测试
1.1 在界面5上用鼠标单击“START” （红色箭头4所指区域）或者在键盘上（图1）按下
“START”键，机台将扫描测试花篮中的第一片Wafer（如界面5所示，红色箭头1所
指区域，从下往上依次为1——25个槽位）；测试结果将显示在界面5中红色箭头2所
指区域（包括颗粒的大小，数量等；箭头3所指区域为颗粒分布图）
1.2 测试完第一片，单击“START”可依次往下测试。
2. 自动测试：在界面5上先单击“AUTO” 或者在键盘上按下“AUTO”键再单击“START”，
即可连续依次进行扫描测试。
3. 选择测试：在界面5上先单击“CASS” 或者在键盘上按下“CASS”键，机台对硅片扫描
后，在箭头1所指区域将显示硅片在花篮中的位置；点击要测试的硅片号或者在键盘上按
下“NEXT”键，看到显示硅片位置的区域（箭头1所指）边缘被加亮后，使用键盘上的上
下箭头选择，按下“SEL”即选定了要测试的硅片。然后单击“START”开始测试。
4. 结束测试
测试完单击“HOME” 或者在键盘上按下“HOME”键，花篮将升起复位。
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图1（键盘）
5. 记录数据：记录界面5显示的颗粒大小，数量等。
6. 扫描图像处理
6.1 局部放大：在wafer map上双击左键，界面6中将出现红色箭头1所指区域；在此区域
任意拖动鼠标，将在箭头2所在区域出现局部放大后的图像；单击右键可退出。
.
6.2 “Micro view”图像：在键盘上按下“MICROSCOPE” , 在箭头3区域出现“HOLD”后
开始测试；测试完毕，双击左键，再按下“MICROSCOPE”即出现3-D Micro view。
四．关机：把光标移到Recipe处点击回到界面3，点击EXIT回到界面2，再点击LOG OFF退
到界面1，按下“POWER OFF”（如下图）。“EMERGENCY OFF”为紧急停止键。
五. 注意事项:
5.1 最好进行单片测试,数据记录清晰完整, 界面停止为手动状态。测试机台状况较为安
全。自动测试时，页面翻转迅速。
5.2 测试时误操作要注意看机台英文提示,慎重操作。
5.3 机台因故死机,迅速报请光刻维修人员。
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界面6
2
1
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